Die Sorter 晶圆级分选机

封装前后的芯片、SiC、IGBT
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DD motor accuracy compensationDD马达精度补偿

Specifications技术规格
设备信息
  • 适应元件

    封装前后的芯片、SiC、IGBT

  • 适应尺寸

    0.4*0.2mm~10mm*10mm

  • UPH

    >20K

  • MTBA

    ≥2h

  • MTBF

    ≥168h

  • 吸嘴数

    20/24/30

入料方式
  • 晶圆尺寸

    6,8,12英寸

  • 芯片厚度

    >80um

  • 取料方向

    正装取料/倒装取料(二选一)

出料方式
  • 标准

    编带(最大可4编带)

  • 选配

    TRAY盘、华夫盒、蓝膜盘、散装

视觉系统
  • 视觉算法

    Al深度学习算法、传统算法

  • 检测项目

    缺陷分类检测、字符检测、方向检测、编带封前检测、编带封后检测(选配)

电测系统
  • 测试站

    支持6站测试

  • 接触方式

    弹片式/探针式/载板式;开尔文/非开尔文测试

  • 接触位置

    背电极、侧电极、正电极

力控系统
  • 接触压力

    50g (0.5N) ~1000g(10N)

  • 精度

    ≤±10%

纠偏系统
  • XY位置精度

    ±25um

  • θ角度精度

    ±0.5°

软件系统
  • 通讯接口

    TCP/IP、GPIB、RS-232、TTL、SECS GEM

  • 数据系统

    实时数据监控统计、检测数据保存、数据导出

设备规格
  • 设备尺寸

    1600mm*1900mm*1900mm

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官方咨询热线:

(86)020-84867806
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