振动盘/六英寸蓝膜扩晶
10型 0.254mmX0.254mmX0.1mm
散料/蓝膜/华夫盒/自粘盒/编带
成熟传统算法框架+AI检测技术
2面/6面/7面外观检测
识别精度≥10μm
并联电容Cp
重复性精度10pF以上≤±0.3%、10pF以下≤±0.03pF
重复性精度≤±0.001
可测量值>1TΩ,重复性精度≤20%
蓝膜
摆盘角度偏差≤5°、摆盘最小间距0.1mm
单边间隔≥0.03mm
≥97%
设备空转UPH
60K
实时数据监控统计、检测数据保存、导出等功能
三相380V/0.5Mpa±0.1Mpa